���[�U�[�����E�G�b�`���O�Ή��̑�^TGV�K���X�R�A����J���F���{�d�C�Ɏq
���{�d�C�Ɏq�́A�����㔼���̃p�b�P�[�W������ޗ��Ƃ��āA���[�U�[�����E�G�b�`���O���H�p��CO2���[�U�[���H�p�́u��^TGV�iThrough Glass Vias�j�K���X�R�A��v��V���ɊJ�������B
» 2025�N05��27�� 13��30�� ���J
�@���{�d�C�Ɏq��2025�N5���A�����㔼���̃p�b�P�[�W������ޗ��Ƃ��āA���[�U�[�����E�G�b�`���O���H�p��CO2���[�U�[���H�p�́u��^TGV�iThrough Glass Vias�j�K���X�R�A��v��V���ɊJ�������Ɣ��\�����B
�@�����̃f�o�C�X�́A��荂���\�ō����x�������߂��Ă���B������\�ɂ����@��1�Ƃ��ă`�b�v���b�g�Z�p�����ڂ���Ă���B�����������A��^�̃p�b�P�[�W��Ƃ��ĕ����⍂�≏���A�����������˔��������@�R�A��̃j�[�Y�����܂��Ă���Ƃ����B
�@���̂��ߓ��Ђł��A���@�R�A�����ɒ��͂��ACO2���[�U�[��p���ăr�A���H�����uGC�R�A�v��u�K���X�R�A��v��Ǝ��J�����Ă����B����ŁA���[�U�[�����E�G�b�`���O�ɂ��TGV���H�̃j�[�Y�����܂��Ă������Ƃ���A2020�N���K���X�ޗ��̊J���ƃT���v���i�̒��s���Ă����B
�@����A���[�U�[�����E�G�b�`���O�ɍœK�ȐV�ޗ����J������ƂƂ��ɁA���Аݔ���TGV���H����515�~510mm�T�C�Y�̃K���X�R�A��ɂ��āA�T���v�������ł���̐��𐮂����BTGV���H�Ȃ��̌��ɂ��Ă����Ă����B
�@�Ȃ��A2024�N�ɔ��\����CO2���[�U�[�Ή��̖��@�R�A��ɂ��ẮA2028�N�̗ʎY�J�n��ڎw���Ă���B
���̓��[�U�[�����E�G�b�`���O�ɂ��K���X��Ƃ��̒f�ʎʐ^�B�E��CO2���[�U�[�ɂ��K���X��Ƃ��̒f�ʎʐ^�m�N���b�N�Ŋg��n�o���F���{�d�C�Ɏq
SiC�E�G�n�[�s��A�P�������ŐL�ї��݉�
�x�m�o�ς́A�p���[�����̌����E�G�n�[�̐��E�s��ɂ��āA2035�N�܂ł̗\���\�����B���ɒ��ڂ��Ă��邪SiC�E�G�n�[�s��ŁA2024�N��1436���~�ɑ��A2035�N��6195���~�Ɩ�4.3�{�Ɋg�傷��Ɨ\�������B
�Ǝ���@�Ń��^�_���K���E������������
�����_�H��w�̌F�J�`��������̃O���[�v�́A������p���[�����̂̍ޗ��Ƃ��Ē��ڂ���Ă���u���^�_���K���E���v�������A�����ɐ���������Z�p���J�������B���̃��^�_���K���E�������́A�Ǝ��̌����z�b�g�E�H�[���L�@�����C�������iMOVPE�j�@��p���Đ��������A�������x��n�^�L�����A���x�𐧌䂵�Ă���B
�ł̉e���Ŕ����̎s��ϓ��p�^�[�����ω�����\�� SEMI�\��
SEMI��2025�N5���A���E�����̐����Y�Ƃ�2025�N��1�l�������тƍ���̌��ʂ��ɂ��Ĕ��\�����B2025�N��1�l�����͒ʏ�̋G�ߐ��ϓ��p�^�[���Ŏn�܂����B����������́A�u�ł̕s�m�����ɂ�蕡���̋ƊE�ŕϑ��I�ȋG�ߕϓ���������\��������v�Ƃ̌������������B
515�~510mm�̃K���X�Z���~�b�N�X�R�A����J��
���{�d�C�Ɏq�́A�����㔼���̃p�b�P�[�W�Ɍ����āA�O�`���@��515�~510mm�Ƃ�����^�̃K���X�Z���~�b�N�X�R�A��uGC�R�A�v���J�������B
�����㔼���̃p�b�P�[�W�p���@�R�A��̊J������
���{�d�C�Ɏq�́A�����㔼���̃p�b�P�[�W�Ɍ��������@�R�A��̊J�����������邽�߁A���[�U�[���H�@�Ȃǂ���|����r�A���J�j�N�X�Ƌ����J���_������B
���k���A�����ܗ��ŋߐԊO����ʂ��V�ޗ���
���k��w�͓��{�d�C�Ɏq�Ƃ̋��������ɂ��A���ܗ����u5�v����ȂǁA�V���R���ɔ�ő�Ŗ�1.5�{�Ƌɂ߂č����A�������ߐԊO���i�g��800�`1200nm�j��ʂ������ȐV�ޗ��������B
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.