�����_�H��w�̌F�J�`��������̃O���[�v�́A������p���[�����̂̍ޗ��Ƃ��Ē��ڂ���Ă���u���^�_���K���E���v�������A�����ɐ���������Z�p���J�������B���̃��^�_���K���E�������́A�Ǝ��̌����z�b�g�E�H�[���L�@�����C�������iMOVPE�j�@��p���Đ��������A�������x��n�^�L�����A���x�𐧌䂵�Ă���B
�@�����_�H��w�Ƒ�z���_�A�ޗǏ��q��w�A�H�w�@��w�A��������w�^���ʐM�����@�\�iNICT�j����сA��z���_ATI�ɂ�錤���O���[�v��2025�N5���A������p���[�����̂̍ޗ��Ƃ��Ē��ڂ���Ă���u���^�_���K���E���i��-Ga2O3�j�v�������A�����ɐ���������Z�p���J�������Ɣ��\�����B���̃�-Ga2O3�����́A�Ǝ��̌����z�b�g�E�H�[���L�@�����C�������iMOVPE�j�@��p���Đ��������A�������x��n�^�L�����A���x�𐧌䂵�Ă���B
�@�d�͕ϊ����s���p���[�����̂ł́A�≏�j��d�E���x���傫���A�d�͑������������ޗ���p�����f�o�C�X�̌������i��ł���B���ڂ�����-Ga2O3�����́A�o���h�M���b�v����4.5eV�ŁA�≏�j��d�E���x��8MV/cm�ł���B���p�����i��SiC�i�Y���P�C�f�j������GaN�i�����K���E���j�����ɔ�ׁA�D�ꂽ����������Ă���B
�@�܂��A�e��̒P��������ł��邽�߁A�f�o�C�X�̐����R�X�g�팸�Ƃ����ϓ_��������҂���Ă���B�����A���p�I�ȃf�o�C�X���J������ɂ́A��-Ga2O3�z���G�s�^�L�V�����w�������ɐ���������Z�p���m��������K�v���������B
�@�����_�H��w�̌F�J�������͂���܂ŁA��z�_�f���z�_�fATI�Ƌ����J�����������z�b�g�E�H�[��MOVPE�����F�uFR2000-OX�v��p���A��-Ga2O3�����ɂ��Č������s���Ă����B�����ăg�����`���K���E���iTMGa�j��p���A�����x�̃�-Ga2O3�z���G�s�^�L�V�����w���A����15��m�ȏ�Ƃ������x�Ő��������邱�Ƃɐ������Ă����B�����ASi�s�����h�[�s���O�ɂ��n�^�L�����A���x�̐���ɂ��ẮA����܂Ō������Ă��Ȃ������Ƃ����B
�@�����ō���́A�����z�b�g�E�H�[��MOVPE�@�Ō����������s���Ƃ��A���łŔ����́u�e�g�����`���V�����iTMSi�j�v����-Ga2O3��Si�h�[�s���O�K�X�Ƃ��ėp�����ꍇ�ɁASi�s�����̔Z�x��L�����A���x�𐧌�ł��邩�ǂ����ׂ��B
�@�����ł́A�����z�b�g�E�H�[��MOVPE�����F��p���A1000���ɕۂ����i010�j�ʃ�-Ga2O3���Ƀz���G�s�^�L�V�����w�𐬒��������B���̓r���ŁATMGa��O2�̋����ʂ��Œ肵�������ŁATMSi�̋����ʂ�ς��邱�Ƃɂ����BTMSi�������������Ƃŋψ��Si�h�[�s���O������ꂽ�Ƃ����B�Y�f�␅�f�Ȃǂ��̑��̕s�����͌��o����Ȃ������B
�@TMSi��TMGa�̋����䗦��ς��Đ����������z���G�s�^�L�V�����w����Si�s�����Z�x�ׂ��B���̌��ʁA2.1�~1015�`1.5�~1019�Ƃ����L���͈͂Ő���ł��邱�Ƃ��m�F�����B����ɁA�d�C������]�������Ƃ���ASi�Z�x�ɓ����������L�����A���x�������邱�Ƃ����������B����́A��-Ga2O3����Si����n�^�s�����ɂȂ邩�炾�Ƃ����B
�@������1.8�~1016cm-3�̃L�����A���x��L����z���G�s�^�L�V�����w�ɂ�����L�����A�A����������͂����B����ɂ���āA�L�����A�ړ��x�͋ɐ����w�t�H�m���U���ɂ̂ݎx�z����ASi�s�����͉e�����Ȃ����Ƃ����������B�����̌��ʂ���ATMSi��p���������z�b�g�E�H�[��MOVPE�@�ɂ��Si�h�[�v��-Ga2O3�z���G�s�^�L�V�����w�̐����́A�p���[�����̌����z���G�s�^�L�V�����E�G�n�[�̗ʎY�ɓK�p�ł��邱�Ƃ��m�F�����B
�@�����O���[�v�͍���A��-Ga2O3�z���G�s�^�L�V�����E�G�n�[��p�����p���[�����̂̊J���Ɛ��\�]���Ɏ��g�ށB��z���_��FR2000-OX���x�[�X�ɁA�z���G�s�^�L�V�����E�G�n�[�̏��ʐ��Y�p�����F���K�͗ʎY�p�����F�̊J�����s�����ƂɂȂ��Ă���B
�@����̌������ʂ́A�����_�H��w��w�@�H�w�����@���p���w����̌F�J�`��������̃O���[�v�ƁA��z���_�̋g�i���玁�A�ޗǏ��q��w�̍��X�؏��叕���A�H�w�@��w�̔����ҋV�����A��������w�^���ʐM�����@�\�iNICT�j�̓��e���������^��������сA��z���_ATI�̔��Y�O�Y���m��ɂ����̂ł���B
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.