6G�����e���w���c�g�z���t�B�������ɔ��Ŏ����F0.1T�`1THz�̃e���w���c�g���z��
������w�̌����O���[�v��0.1T�`1THz�̃e���w���c�g���z������ɔ��́u�e���w���c�g�z���t�B�����v���A�V���{�d�H�Ƌ����ŊJ�������B6G�i��6����ړ��ʐM�j���ڐG�o�C�^�����j�^�����O�V�X�e���A�Z�L�����e�B�Z���V���O�V�X�e���Ȃǂ̗p�r�Ɍ�����B
» 2025�N02��04�� 13��30�� ���J
�@������w��w�@���w�n�����Ȃ̑�z�T�ꋳ����ɂ�錤���O���[�v��2025�N1���A0.1T�`1THz�̃e���w���c�g���z������ɔ��́u�e���w���c�g�z���t�B�����v���A�V���{�d�H�Ƌ����ŊJ�������Ɣ��\�����B6G�i��6����ړ��ʐM�j���ڐG�o�C�^�����j�^�����O�V�X�e���A�Z�L�����e�B�Z���V���O�V�X�e���Ȃǂ̗p�r�Ɍ�����B
�@0.1T�`1THz�̃e���w���c�g�́A�����ʐM�̍��������e�ʉ��A��x�����A�����f�o�C�X�̓����ڑ��������ł��邱�Ƃ���A6G�ȊO�ł����܂��܂ȗp�r�ł��̉��p����������Ă���B����ŁA���Z�L�����e�B�̊m�ۂ�d���g���̉���A�Z���V���O���x�̌���Ȃǂ���������ɂ́A�s�v�ȓd���g�m�C�Y���z������K�v������B�������������ɂ͓d���g�z���t�B�����Ȃǂ�p����̂��L�������A0.3THz�ȏ�̃e���w���c�g���z���ł���t�B�����́A�܂����p������Ă��Ȃ��Ƃ����B
�@�����Ō����O���[�v�́A���d���̃����_�^�_���O�`�^���i��-Ti3O5�j�̕\�ʂ�≏���_���`�^���iTiO2�j�i�m���q�Ŕ핢�����\�ʃR�[�g�^�����_�^�_���O�`�^�����������A���݂�48��m�Ƌɂ߂Ĕ����e���w���c�g�z���ޗ����J�������B
����}�̓�-Ti3O5�̌����\����SEM�i�����^�d�q�������j���B�����}��TiO2�i�m���q�̌����\����TEM�i���ߌ^�d�q�������j���B�E�}�͕\�ʃR�[�g�^�����_�^�_���O�`�^����SEM���m�N���b�N�Ŋg��n �o���F������w
�@�J�������\�ʃR�[�g�^�����_�^�_���O�`�^���̓������A�e���w���c���ԗ̈敪���@��p���ĕ]�������B���̌��ʁA0.1�`1THz�͈̔͂ŗU�d���ڂ́u0.76�v�Ƃ��������l���������B���̗v���Ƃ��āA�u�����_�^�_���O�`�^�����������̃h���C���E�ʁA�≏��TiO2�i�m���q�ƃ����_�^�_���O�`�^�������̊Ԃ̊E�ʂŐ�����d�q�U���ɂ���āA�ɂ߂č����U�d�������e���w���c�g�ш�Ŕ��������v���Ƃ��������B
�@�\�ʃR�[�g�^�����_�^�_���O�`�^����p���ĊJ����������48��m�̃e���w���c�g�z���t�B�����́A0.77THz�Ł|28dB�̔��ˑ����i99.8���z���ɑ����j���������B���̏�A�ϔM����ό����A�ϐ����A�ϗL�@�n�ܐ��Ȃǂɂ��D��Ă���A���O����ߍ��ȏ������ł̗��p���\���Ƃ����B�����_�^�_���O�`�^���̗ʎY�R�X�g�́A�z���t�B����1m2�����萔�S�~���x�ƈ����ŁA���ɗD�����ޗ��ł���B
�\�ʃR�[�g�^�����_�^�_���O�`�^���̗U�d�������i����j�A�U�d�������i�E��j�A�U�d���ڂ̎��g���ˑ����i�����j����сA�U�d�������ɑ���U�d�������̃v���b�g�i�E���j�m�N���b�N�Ŋg��n �o���F������w
��}�̓����_�^�_���O�`�^���ꎟ���q��TEM���ƃh���C���\���̖͎��}�A���}�̓����_�^�_���O�`�^�������̃h���C���E�ʂ�≏���̎_���`�^���i�m���q�ŕ���ꂽ�����_�^�_���O�`�^�������̕\�ʂł́A�d�����U������G�l���M�[�������m�N���b�N�Ŋg��n �o���F������w
��}�͋������Ɍ`�����ꂽ�\�ʃR�[�g�^�����_�^�_���O�`�^������Ȃ�t�B�����̔��ˑ����X�y�N�g���B���}�̓V�~�����[�V�����ɂ��z���̂̌��݂Ǝ��g���ɑ��锽�ˑ�������сA�����œ���ꂽ���݂Ƌz���s�[�N���g���m�N���b�N�Ŋg��n �o���F������w
�����̘I�����u��p���������ʃ����Y���ʐ��Y
������w��JSR�̌����O���[�v�́A�����̘I�����u��p�������̕��ʃ����Y���R�X�g�ő�ʐ��Y�ł����@���J�������B
���ꗚ�����L���ł��鋐���R�ω�������������
������w�̌����O���[�v�́A�Y�ƋZ�p������������L����w�A�C�m�����J���@�\�Ƌ����ŁA������ꂽ����̗������L���ł��A���������Ȓ�R�ω��Ƃ��ēǂݏo���郁�����i�������X�^�j�����������B
�_�C�������h�\�ʂ����q���x���ʼn����@�f�o�C�X���\����ɍv��
������w�́A�Y�ƋZ�p�����������i�Y�����j�Ƌ����ŁA�_�C�������h�\�ʂ����q���x���ʼn�������Z�p���J�������B�_�C�������h��������������@�\�̉𖾂�A�_�C�������h�f�o�C�X�̐��\����ɍv���ł���Ƃ݂Ă���B
�����ŏ���ǂݏ����ł���u��㎥���́v��
������w�́A�����ŏ��̓ǂݏ������\�ȁA�u��㎥���́v�ƌĂ��V���Ȏ����̂������B�������x�����̓ǂݏ������ɂ߂đ���������̏��}�̂Ƃ��Ă̊��p�����҂����B
AlN�p���[�����̊J�������ɒe�݁@�d���A���@�\����
������w�̌����O���[�v�Ɠ��{�d�M�d�b�iNTT�j�́A�����A���~�j�E���iAlN�j�n�����̂�p�����V���b�g�L�[�o���A�_�C�I�[�h�iSBD�j���쐻���A���̓d���A���@�\���𖾂����B����AAlN�n�����̂�p�����ᑹ���p���[�����̃f�o�C�X�̎����Ɏ��g�ށB
���̐_�o�g�D�̓����͕킷��g�����W�X�^���J��
�Y�ƋZ�p�����������i�Y�����j�Ɠ�����w�A��B��w�A���Ɍ�����w�A���É��H�Ƒ�w��ɂ�錤���O���[�v�́A���̐_�o�g�D�̓����͕�ł���MOS�g�����W�X�^�̓�����ɐ��������B�]����CMOS�g�����W�X�^�ɔ��100���{�ȏ��������蓮�삵�A����d�͂�500pW�Ƌɂ߂ď������B
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.