FRAM�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽV�ｿｽﾞ暦ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽJ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽA�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽd�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ6�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽF150�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾌプ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽZ�ｿｽX�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽx�ｿｽﾅ撰ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾂ能�ｿｽi1/2 �ｿｽy�ｿｽ[�ｿｽW�ｿｽj

GaScN�ｿｽﾌ鯉ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾛゑｿｽ�ｿｽﾈゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽSc�ｿｽZ�ｿｽx�ｿｽ�ｿｽ53�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾜで鯉ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ

�ｿｽ@�ｿｽY�ｿｽﾆ技�ｿｽp�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽi�ｿｽY�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽj�ｿｽﾆ難ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾈ学�ｿｽ�ｿｽw�ｿｽﾌ鯉ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ`�ｿｽ[�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ2024�ｿｽN12�ｿｽ�ｿｽ4�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽA�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽU�ｿｽd�ｿｽﾌ��ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽiFRAM�ｿｽj�ｿｽﾉ用�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽV�ｿｽﾞ暦ｿｽ�ｿｽﾆゑｿｽ�ｿｽﾄ「GaScN�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽv�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽJ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾆ費ｿｽ�ｿｽ\�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽB�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽY�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽiSc�ｿｽj�ｿｽﾌ濃�ｿｽx�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾟるこ�ｿｽﾆで、�ｿｽﾞ暦ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾌ包ｿｽ�ｿｽﾉを反転�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ驍ｽ�ｿｽﾟの電�ｿｽE�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽx�ｿｽi�ｿｽY�ｿｽd�ｿｽE�ｿｽj�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽB�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾉゑｿｽ�ｿｽA�ｿｽ]�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾌ抵ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾞ暦ｿｽ�ｿｽﾆ費ｿｽﾗ��ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾉ必�ｿｽv�ｿｽﾈ電�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ60�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ驍ｱ�ｿｽﾆゑｿｽ�ｿｽﾅゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾆゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽB

�ｿｽJ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽGaScN�ｿｽﾌ��ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾉ必�ｿｽv�ｿｽﾈ電�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾌ費ｿｽr�ｿｽm�ｿｽN�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽb�ｿｽN�ｿｽﾅ拡�ｿｽ�ｿｽn �ｿｽo�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽF�ｿｽY�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ

�ｿｽ@�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽU�ｿｽd�ｿｽﾌ��ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾍ、�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽd�ｿｽﾍゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾈゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾌ不�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾆゑｿｽ�ｿｽﾄ奇ｿｽ�ｿｽﾒゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾄゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽB�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽA�ｿｽg�ｿｽp�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾞ暦ｿｽ�ｿｽﾆゑｿｽ�ｿｽﾄ抵ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽK�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽE�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽiGaN�ｿｽj�ｿｽ�ｿｽSc�ｿｽ�ｿｽY�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽGaScN�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾚゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾄゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽB�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ閧ｵ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾅ耐熱�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾉ優�ｿｽ�ｿｽﾄゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽA�ｿｽc�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾉ値�ｿｽ�ｿｽHfO₂�ｿｽn�ｿｽﾉ費ｿｽ�ｿｽ4�ｿｽ{�ｿｽﾈ擾ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ蛯ｫ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽA�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾌ搾ｿｽ�ｿｽW�ｿｽﾏ会ｿｽ�ｿｽﾉ鯉ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾄ有�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾆなゑｿｽB�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾌ擾ｿｽA�ｿｽX�ｿｽp�ｿｽb�ｿｽ^�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽO�ｿｽ@�ｿｽﾅ費ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�製搾ｿｽﾅゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾈど、�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾌ難ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ驍ｩ�ｿｽ轤ｾ�ｿｽB

�ｿｽ@�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽA�ｿｽY�ｿｽd�ｿｽE�ｿｽ�ｿｽHfO₂�ｿｽn�ｿｽﾉ費ｿｽﾗ厄ｿｽ2�ｿｽ{�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽK�ｿｽv�ｿｽﾆなゑｿｽAGaScN�ｿｽ�ｿｽp�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽU�ｿｽd�ｿｽﾌ��ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾌ難ｿｽ�ｿｽ�ｿｽd�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾈゑｿｽﾆゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾛ題が�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽBGaScN�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽSc�ｿｽZ�ｿｽx�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾎ杭�ｿｽd�ｿｽE�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾅゑｿｽ�ｿｽA�ｿｽ�ｿｽd�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾂ能�ｿｽﾈゑｿｽ�ｿｽﾆは包ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾄゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽB�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽASc�ｿｽZ�ｿｽx�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾟゑｿｽ�ｿｽGaScN�ｿｽﾌ鯉ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ瘟ｺ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ驍ｽ�ｿｽﾟ、�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾅは濃�ｿｽx44�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾆゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾄゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽB

�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽU�ｿｽd�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽi�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾉ−�ｿｽd�ｿｽE�ｿｽﾈ撰ｿｽ�ｿｽj�ｿｽﾌ撰ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ}�ｿｽm�ｿｽN�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽb�ｿｽN�ｿｽﾅ拡�ｿｽ�ｿｽn �ｿｽo�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽF�ｿｽY�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ

�ｿｽ@�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ`�ｿｽ[�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾍ搾ｿｽ�ｿｽ�ｿｽA�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽv�ｿｽw�ｿｽI�ｿｽ�ｿｽ@�ｿｽ�ｿｽp�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�製�ｿｽv�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽZ�ｿｽX�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾅ適�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽB�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾌ鯉ｿｽ�ｿｽﾊ、GaScN�ｿｽﾌ鯉ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾛゑｿｽ�ｿｽﾈゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽSc�ｿｽZ�ｿｽx�ｿｽ�ｿｽ53�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾜで搾ｿｽ�ｿｽﾟるこ�ｿｽﾆに撰ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽBSc�ｿｽﾌ濃�ｿｽx�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾟゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾆで抗�ｿｽd�ｿｽE�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ蝠晢ｿｽﾉ擾ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾈゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽB�ｿｽY�ｿｽd�ｿｽE�ｿｽﾌ最擾ｿｽ�ｿｽl�ｿｽﾍ厄ｿｽ1.5MV/cm�ｿｽﾅ、HfO₂�ｿｽn�ｿｽﾆ難ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽx�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾅゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽBSc�ｿｽZ�ｿｽx�ｿｽ�ｿｽ44�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽGaScN�ｿｽﾉ費ｿｽﾗゑｿｽﾆ、�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾌ値�ｿｽﾍ費ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾈ会ｿｽ�ｿｽﾆなゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽB

�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾍ作製�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽGaScN�ｿｽﾌ具ｿｽ�ｿｽU�ｿｽd�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽi�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾉ−�ｿｽd�ｿｽE�ｿｽﾈ撰ｿｽ�ｿｽj�ｿｽﾌ茨ｿｽ�ｿｽA�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽGaScN�ｿｽﾌ抗�ｿｽd�ｿｽE�ｿｽﾉ対ゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽSc�ｿｽZ�ｿｽx�ｿｽﾌ鯉ｿｽ�ｿｽﾊ、�ｿｽE�ｿｽﾍ残�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾉと抗�ｿｽd�ｿｽE�ｿｽﾌ費ｿｽr�ｿｽm�ｿｽN�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽb�ｿｽN�ｿｽﾅ拡�ｿｽ�ｿｽn �ｿｽo�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽF�ｿｽY�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ

�ｿｽ@�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾅは、�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾉ費ｿｽ�ｿｽ]�ｿｽﾌ繰�ｿｽ�ｿｽﾔゑｿｽ�ｿｽﾏ撰ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾘゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽB�ｿｽJ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽGaScN�ｿｽﾍ、�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾆ包ｿｽ�ｿｽﾉ費ｿｽ�ｿｽ]�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽJ�ｿｽ�ｿｽﾔゑｿｽ�ｿｽﾄゑｿｽ10⁸�ｿｽ�ｿｽﾜで残�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾉ値�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾛ趣ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾄゑｿｽ�ｿｽ驍ｱ�ｿｽﾆゑｿｽ�ｿｽm�ｿｽF�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽB�ｿｽ]�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾌ抵ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽU�ｿｽd�ｿｽﾌゑｿｽ�ｿｽL�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾏ撰ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ100�ｿｽ{�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽﾆゑｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽB

�ｿｽJ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽGaScN�ｿｽﾌ包ｿｽ�ｿｽﾉ費ｿｽ�ｿｽ]�ｿｽﾌ繰�ｿｽ�ｿｽﾔゑｿｽ�ｿｽﾏ撰ｿｽ�ｿｽm�ｿｽN�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽb�ｿｽN�ｿｽﾅ拡�ｿｽ�ｿｽn �ｿｽo�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽF�ｿｽY�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ�ｿｽ