�x�m�t�C�����́A�l�K�^�̋ɒ[���O���iEUV�j�Ɍ������t�H�g���W�X�g�ƌ����t�̔̔����n�߂�B����ɍ��킹�A�É��Ɗ؍����V��2���_��EUV���W�X�g��EUV�����t�̑��Y����ѕi���]���ɕK�v�Ȑݔ�������B
�@�x�m�t�C������2024�N10��29���A�l�K�^�̋ɒ[���O���iEUV�j�Ɍ������t�H�g���W�X�g�ƌ����t�̔̔����n�߂�Ɣ��\�����B����ɍ��킹�A�É��Ɗ؍����V��2���_��EUV���W�X�g��EUV�����t�̑��Y����ѕi���]���ɕK�v�Ȑݔ�������B
�@���Ђ́A�l�K�^���W�X�g�̌����H���ł���uNTI�iNegative Tone Imaging�j�v���Z�X�v���J���AArF�I����p���������H���ōL�����p����Ă���B����ɍ���́A��[�����̐����v���Z�X�ɗp������EUV�����ɐi��������NTI�v���Z�X�ɑΉ�����uEUV���W�X�g�v�ƁuEUV�����t�v�̔̔����n�߂��B
�@�l�K�^��EUV���W�X�g�́A���W�X�g�̔����𐧌�ł�������𐫃N�G���`���[�A���^���_�����܁iPCP�j�������B����ɂ��AEUV�I�����Ƀ��W�X�g�����̎_�Z�x���ψ�ɕۂ��Ƃ��ł��A��H�p�^�[���̂�����]���ɔ�ז�17���ጸ�ł���Ƃ����B
�@NTI�����t���A�]���̃A���J�������t�ł͂Ȃ�EUV�����ɍ����x�L�@�n�܂�p�����B����ɂ��A�������ɐ����郌�W�X�g�̖c��݂�}���邱�Ƃ��ł��A�����p�^�[�j���O���x�����������B
�@�x�m�t�C�����́AEUV�����̃��W�X�g�ƌ����t�̔̔��ɍ��킹�A2���_�̐��Y�\�͂����A���[�U�[�ɑ��鋟���ӔC���ʂ����Ă����B�É����_�ł́AEUV���W�X�g�̐����\�͂ƕi���]���@�\���������邽�߂ɕK�v�ƂȂ�ŐV�s�̐��Y�ݔ�����ь������u������B
�@�؍����V���_�ł́AEUV���W�X�g��EUV�����t�̐����\�͂���ѕi���]���@�\�����邽�߁A�N���[�����[���̐ݒu�ƍŐV�s�̐��Y�ݔ��A�������u�����邱�Ƃɂ��Ă���B2���_�ł̐ݔ��ғ���2025�N10���̗\��B
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.