���f�B�A

�V���R���i�m���U��\���ŐV���ȋ��ƒ��[�h�����F�Ɩ������i�m�\�����S���炸�炷

����w�́A��p��w��ϓ��w�Ƃ̋��������ŁA�V���R���i�m���U��\���́u�~�[���ƒ��[�h�v�𐧌䂷�邽�߂̐V���ȕ��@�𔭌������B

» 2024�N01��16�� 15��30�� ���J
[�n�{���j�CEE Times Japan]

�S���X�C�b�`���O�f�o�C�X����A���e�i�Ȃǂւ̉��p�Ɋ���

�@����w��w�@�H�w�����Ȃ̍����~�ꋳ����ɂ�錤���O���[�v��2023�N12���A��p��w��Shi-Wei Chu��������сA�ϓ��w��Xiangping Li�����Ƃ̋��������ŁA�V���R���i�m���U��\���́u�~�[���ƒ��[�h�v�𐧌䂷�邽�߂̐V���ȕ��@�𔭌������Ɣ��\�����B

�@����������̌����O���[�v�́A���[�U�[������������p���ăV���R���i�m���U��̌��w�摜���擾���A�Ɩ��ʒu�ƃi�m���U�@����̎U���M�����x�ɂ‚��Ē��ׂ��B�����ł́A�i�m�\���̑傫���i��100nm�j�܂ŁA���[�U�[�����i�荞�񂾁B

�@����ꂽ���́A�i�m�\���ƏƖ����̒��S���d�Ȃ������ɎU���M�����������Ȃ����B����ɑ΂��Ɩ�����100nm�قǒ��S���炸�ꂽ�ʒu�ł́A�U���M�����傫���Ȃ�悤�ȓ��قȋ�ԕ��z���������B�i�m�\���ɏƖ�����������Ȃ��ꍇ�ɂ́A�\������̎U���M���͔������Ȃ��B

̓[U[̌B̓VRimU\̃[U[BE͈Î쌰œꂽ ���̓��[�U�[�����������̌����B�����̓V���R���i�m���U��\���̃��[�U�[�������������B�E�͈Î��쌰�����œ���ꂽ���m�N���b�N�Ŋg��n �o���F����w��

�@����̌����ł́A�W���������[�U�[�Ɩ����̈ʒu���i�m�\�������100nm�ψʂ�����ƁA�u�ψʋ��v�Ƃ��āA���d�Ɏq�̂悤�ȍ����̃~�[���‚�U�N�ł��邱�Ƃ����������B�~�[���ƒ��[�h�𑀍삷�邽�߂ɁA�]���̂悤�ȃi�m�\���̑傫������ˌ��̔g����ς���K�v���Ȃ��Ƃ����B���������ψʋ��‚́A�i�m�\���̉��x�㏸�ɂ����ܗ��ω��𗘗p�����A�������̑S���X�C�b�`���O�f�o�C�X����A���e�i�Ȃǂւ̉��p������ɓ���Ă���B

Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.

RSS�t�B�[�h

����SNS

EE Times �C�O�l�b�g���[�N

�C�O��g�T�C�g

All material on this site Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.
This site contains articles under license from AspenCore LLC.

OSZAR »