���f�B�A

����c��w��A�X�e�b�v�A���o���`���O���ۂ𔭌��FSiC�E�G�n�[�\�ʂ̕����񉻂ɍv��

����c��w��̌����O���[�v�́ASiC�i�Y���P�C�f�j�E�G�n�[�\�ʂ����q���x���ŕ����񉻂���Z�p�ɉ��p�ł���u�X�e�b�v�A���o���`���O���ہv�𔭌������B�v���Z�X�͔�r�I�V���v���ŁA���H�ɂ��_���[�W�w���Ȃ��Ƃ����B

» 2023�N07��24�� 10��30�� ���J
[�n�{���j�CEE Times Japan]

���w�@�B�������܂ރv���Z�X���s�v�ŁA�R�X�g�Ǝ��Ԃ�啝�ɍ팸

�@����c��w��̌����O���[�v��2023�N7���ASiC�i�Y���P�C�f�j�E�G�n�[�\�ʂ����q���x���ŕ����񉻂���Z�p�ɉ��p�ł���u�X�e�b�v�A���o���`���O���ہv�𔭌������Ɣ��\�����B�v���Z�X�͔�r�I�V���v���ŁA���H�ɂ��_���[�W�w���Ȃ��Ƃ����B

�@�p���[�f�o�C�X�̍ޗ��Ƃ���SiC�����ڂ���Ă���BSiC�p���[�f�o�C�X���̗p���邱�ƂŁA���p�@��̏��^����ȓd�͉����”\�ƂȂ邩�炾�B�����������ŁASiC�p���[�f�o�C�X�̓���������Ɍ��コ������@�̈�‚Ƃ��āA�ȒP�ȃv���Z�X��p���E�G�n�[�\�ʂ����q���x���ŕ����񉻂���Z�p�̌������i��ł���B

�@���݂́ASiC�E�G�n�[�\�ʂ𕽂��񉻂���v���Z�X�Ƃ��āA�u���w�@�B�����iCMP�j�v��u���f�G�b�`���O�v�Ƃ��������@���p�����Ă���B�����A�����̕��@�ɂ͉ۑ���������BCMP�ł́A���������������邱�ƂŁA�X�e�b�v�ƌĂ΂�鍂��0.25nm�̒i���݂̂ɂł��邪�A�\�ʋߖT�ɂ͉��H�ɂ��_���[�W�w���c��Ƃ����Ă���B

�@����A���f�G�b�`���O�́A���f���͋C���ō������M���邱�Ƃɂ���āA����������H�_���[�W�w�������ł�����̂́A���������ɂ���ăX�e�b�v�������Ȃ�u�X�e�b�v�o���`���O���ہv��������Ƃ����B���̂��߁A�X�e�b�v�̍�����5�`10nm�ȏ�ƂȂ�A�\�ʂ������r���Ȃ�B�X�e�b�v�o���`���O���ۂ́A�u�~�j�}���X�e�b�v�o���`���O�iMSB�j�v�ƁA���̌�ɐ�����u���[�W�X�e�b�v�o���`���O�iLSB�j�v��2�i�K�ɕ�������Ƃ����B����܂ł͂����������ۂ��s�‹t�I���ƍl�����Ă����B

�@�����O���[�v�͍���A�X�e�b�v��5�`10nm�̍����ɂȂ�����ł��A����̏������ł�1�`1.5nm�̍����ɖ߂�Ƃ������ۂ𔭌����A�u�X�e�b�v�A���o���`���O���ہv�Ɩ��t�����BSiC�M�����O���t�F���̌����ߒ��ŁASiC�\�ʌ`�Ԃ𐧌䂵�Ă��鎞�ɋ��R�A���̌��ۂ𔭌������Ƃ����B

SiCEGn[\ʂ̃XebvAo`O oFcw SiC�E�G�n�[�\�ʂ̃X�e�b�v�A���o���`���O���ہm�N���b�N�Ŋg��n �o���F����c��w
SiC�\�ʂ̌��q�ԗ͌��������B������u�@�B������v�uCMP��v�u1600���ł̐��f�G�b�`���O��v�m�N���b�N�Ŋg��n �o���F����c��w

�@�����ł́A4�����x�̐��f���܂ރA���S���K�X�iAr�^4��H2�j���͋C����SiC�����M�����B��������ƁA1600����LSB���������B�����1400���ŕێ������Ƃ���A����5�`10nm�������X�e�b�v���A����1�`1.5nm�̃X�e�b�v�ւƕω����Ă������B�‚܂�A����̕��͋C�ł�LSB����MSB�ւƉ‹t���ۂ������邱�Ƃ��m�F�����B���Ȃ݂ɁA���f���܂܂Ȃ��A���S���K�X���͋C���ł́A�X�e�b�v�A���o���`���O���ۂ͋N����Ȃ������Ƃ����B

Ar^4H2͋CŋNXebvAo`O Ar�^4��H2���͋C���ŋN����X�e�b�v�A���o���`���O���ہB��i������u1600����10�����M�v�u���̌�1400����10���ێ��v�u20���ێ��v�u60���ێ��v���������̕\�ʌ`�ԁB���i�͂����̕ω���͎������}�m�N���b�N�Ŋg��n �o���F����c��w

�@�����SiC�݂̂�ΏۂƂ������A�����K���E���iGaN�j��q���K���E���iGaAs�j�Ȃǂ������\�����ގ����Ă���A�X�e�b�v�A���o���`���O���ۂ��N�����”\��������Ƃ݂Ă���B�����������ۂ����p����΁A�����̐����H���ʼn��w�@�B�������܂ރv���Z�X���Ȃ����Ƃ��ł��邽�߁A���̍H���ɗv���Ă����R�X�g�⎞�Ԃ�啝�ɍ팸�ł���”\��������B

�@����̌����́A����c��w���H�w�p�@�̏揼�q�����i���É���w�q�������j��ɂ�錤���O���[�v�ƁA���É���w���m����ے��w���̍匴�����Y���A�����������S��������w�̕��u�t�A���{���q�͌����J���@�\�̎��V�m���������A���É���w�����ޗ��V�X�e���������̓���q�q���_�����炪�����ōs�����B

Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.

RSS�t�B�[�h

����SNS

EE Times �C�O�l�b�g���[�N

�C�O��g�T�C�g

All material on this site Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.
This site contains articles under license from AspenCore LLC.

OSZAR »