���f�B�A

���l�����A�V���Ȕ����̃`�b�v�W�ϋZ�p���J���FD2W�n�C�u���b�h�ڍ����”\��

���l������w�́A�V���Ȕ����̃`�b�v�W�ϋZ�p���A�f�B�X�R����сA�����G���W�j�A�����O�Ƌ����ŊJ�������Ɣ��\�����B�J���������ڍ��Z�p��300mm�E�G�n�[��Ō��؂��A���H���Ԃ�ޗ��������팸�ł��邱�Ƃ����؂����B

» 2023�N05��31�� 11��30�� ���J
[�n�{���j�CEE Times Japan]

���ڍ��ɂ��A���H���Ԃ�ޗ��������팸

�@���l������w�H�w�����@�̈��j��y������2023�N5���A�V���Ȕ����̃`�b�v�W�ϋZ�p���A�f�B�X�R����сA�����G���W�j�A�����O�Ƌ����ŊJ�������Ɣ��\�����B�J���������ڍ��Z�p��300mm�E�G�n�[��Ō��؂��A���H���Ԃ�ޗ��������팸�ł��邱�Ƃ����؂����B

�@�����O���[�v�͍���A�V���ɊJ������CVD�≏����p���A�E�G�n�[��Ƀ`�b�v�����ڑ�������@���������B���ڑ��́A�v���Y�}�������_�C���N�g�{���f�B���O�ōs���B���̂��߁A���ڍ��E�ʂ͂قƂ�ǂ̑O�H���v���Z�X�ƌ݊���������Ƃ����B

�@�E�ʑw�͔����‘̂ł���A�{���f�B���O���ɔ�������u�_�C�̂���v�Ȃǂ��y���ł���Ƃ���B����ɂ���āA�u�_�C�c�[�E�G�n�[�iD2W�j�v�̃n�C�u���b�h�ڍ����”\�ɂ����B���ڍ��ŏd�v�ƂȂ�̂́A�ቷ�ő͐ς��ꂽSiO2���ɂ��Ӑ}�I�ȃ{�C�h�̌`���Ɛ��䂳�ꂽ�ڍ��G�l���M�[���Ƃ����B

�@�����Ō����O���[�v�́A�u�\�ʑe���v��u���g���v�u�@�B�I�����v����сA�u�v���Y�}�������̉e���v�Ȃǂɂ‚��Ē��ׂ��B�܂��A���̃��J�j�Y�����𖾂��邽�߁A�������͋C�ł̃{���f�B���O�G�l���M�[�����E�ʋ�E�����ATEM���͂Ƃ������E�ʉ�͂��s�����B

�@�ቷ�ő͐ς���SiO2�́A�����̃I�[�v���X�y�[�X�Ɛ����܂�ł���B���ꂪ���̒����w�Ƃ��ċ@�\���A�|�X�g�{���h�A�j�[�����ɕ��o�����”\��������ƌ��Ă���B����ɂ��A�ɂ߂ď������͂ŃE�G�n�[�ƃ`�b�v���ȒP�ɔM�����ł��邱�Ƃ����������B

JWϋZp̖͎} oFlw �J�������W�ϋZ�p�̖͎��}�m�N���b�N�Ŋg��n �o���F���l������w��
300mmEGn[ł̎؎̗lq oFlw 300mm�E�G�n�[��ł̎��؎����̗l�q�m�N���b�N�Ŋg��n �o���F���l������w��

Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.

RSS�t�B�[�h

����SNS

EE Times �C�O�l�b�g���[�N

�C�O��g�T�C�g

All material on this site Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.
This site contains articles under license from AspenCore LLC.

OSZAR »