���l�����A�V���Ȕ����̃`�b�v�W�ϋZ�p���J�� �F D2W�n�C�u���b�h�ڍ����\��
���l������w�́A�V���Ȕ����̃`�b�v�W�ϋZ�p���A�f�B�X�R����сA�����G���W�j�A�����O�Ƌ����ŊJ�������Ɣ��\�����B�J���������ڍ��Z�p��300mm�E�G�n�[��Ō����A���H���Ԃ�ޗ��������팸�ł��邱�Ƃ��������B
» 2023�N05��31�� 11��30�� ���J
�@���l������w�H�w�����@�̈��j��y������2023�N5���A�V���Ȕ����̃`�b�v�W�ϋZ�p���A�f�B�X�R����сA�����G���W�j�A�����O�Ƌ����ŊJ�������Ɣ��\�����B�J���������ڍ��Z�p��300mm�E�G�n�[��Ō����A���H���Ԃ�ޗ��������팸�ł��邱�Ƃ��������B
�@�����O���[�v�͍���A�V���ɊJ������CVD�≏����p���A�E�G�n�[��Ƀ`�b�v�����ڑ�������@���������B���ڑ��́A�v���Y�}�������_�C���N�g�{���f�B���O�ōs���B���̂��߁A���ڍ��E�ʂ͂قƂ�ǂ̑O�H���v���Z�X�ƌ݊���������Ƃ����B
�@�E�ʑw�͔����̂ł���A�{���f�B���O���ɔ�������u�_�C�̂���v�Ȃǂ��y���ł���Ƃ���B����ɂ���āA�u�_�C�c�[�E�G�n�[�iD2W�j�v�̃n�C�u���b�h�ڍ����\�ɂ����B���ڍ��ŏd�v�ƂȂ�̂́A�ቷ�ő͐ς��ꂽSiO2 ���ɂ��Ӑ}�I�ȃ{�C�h�̌`���Ɛ��䂳�ꂽ�ڍ��G�l���M�[���Ƃ����B
�@�����Ō����O���[�v�́A�u�\�ʑe���v��u���g���v�u�@�B�I�����v����сA�u�v���Y�}�������̉e���v�Ȃǂɂ��Ē��ׂ��B�܂��A���̃��J�j�Y�����𖾂��邽�߁A�������͋C�ł̃{���f�B���O�G�l���M�[�����E�ʋ�E�����ATEM���͂Ƃ������E�ʉ�͂��s�����B
�@�ቷ�ő͐ς���SiO2 �́A�����̃I�[�v���X�y�[�X�Ɛ����܂�ł���B���ꂪ���̒����w�Ƃ��ċ@�\���A�|�X�g�{���h�A�j�[�����ɕ��o�����\��������ƌ��Ă���B����ɂ��A�ɂ߂ď������͂ŃE�G�n�[�ƃ`�b�v���ȒP�ɔM�����ł��邱�Ƃ����������B
�J�������W�ϋZ�p�̖͎��}�m�N���b�N�Ŋg��n �o���F���l������w��
300mm�E�G�n�[��ł̎��؎����̗l�q�m�N���b�N�Ŋg��n �o���F���l������w��
AI�ƐS�d�Z���T�[�Ŏ�p���̈�t�̊��������
���l������w�ƃ~���E�X��2023�N3��31���A�S�d�}�Z���T�[��AI��p���A��p���̈�t�̊���ω�����������V�X�e�����J�������Ɣ��\�����B�n����t�̊���͂��邱�ƂŁA���C�㋳��ɖ𗧂Ɗ��҂����B
5G�}���`�Z�N�^�[�A���e�i������n�Ǒ��u���J��
���l������w��NTT�h�R���A���{�d�ƍH�삨��ѕx�m�ʂ́A�}���`�Z�N�^�[�A���e�i����������5G�}���`�Z�N�^�[�A���e�i������n�Ǒ��u�������J�����A28GHz�т̓d�g��p�����ʐM�̎��؎����ɐ��������B�]�����u�ɔ��H�K�͂��10����1�ɏ��^�����Ă���B
3D�v�����^�Łu3�����t���L�V�u���z���v���쐻
���l������w�́A�Ǝ��J���̌��d���������ƁA�����ׂ�3D�v�����g�Z�p�ł�������`�@��p���A�_��Ɠ��d����L����u3�����t���L�V�u���z���v�̍쐻�ɐ��������B���삵��3�����\���̂̓��d���́A����܂ŕ���Ă������l�ɔ��100�{�ȏゾ�Ƃ����B
�������ȑ��A2000���ȏ�̍��M�ɑς���ޗ��J��
�������ȑ�w�≡�l������w�A�����E�ޗ������@�\�iNIMS�j��ɂ�錤���O���[�v�́A2000���ȏ�Ƃ����ɂ߂č������x�ɑς�����A�W���R�j�E���iZr�j�|�`�^���iTi�j�����x�[�X�́u�Y�f�@�ۋ����������Z���~�b�N�X�����ޗ��iC�^UHTCMC�j�v���J�������B
�V���R���t�H�g�j�N�X�Z�p�Ŏ��g���l�H�������ϑ�
���l������w�Ɠ��k��w�A�c��`�m��w����сA������w��̌����O���[�v�́A���W�σv���b�g�t�H�[���u�V���R���t�H�g�j�N�X�v�Z�p��p���āA�u���g���l�H�����v�ƌĂ��g�|���W�J���t�H�g�j�N�X�֘A�̌��w���ۂ��ώ@���邱�Ƃɐ��������B
�����㔼���̎����Z�p�A�uJOINT2�v������̐��ʂ�W��
�����㔼���̃p�b�P�[�W�����Z�p�̊J����ڎw���R���\�[�V�A���uJOINT2�v�́uSEMICON Japan 2022�v�i����F2022�N12��14�`16���A���F�����r�b�O�T�C�g�j�ŁA���g�݂̓��e�⌤���J���̐i�����Љ���B
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.