���f�B�A

1��m����3C-SiC�A�M�`�������_�C�������h�������F�����̏��x��i���̍����ɋN��

��������w�ƃC���m�C��w�A�G�A�E�E�H�[�^�[�A���k��w����сA�W���[�W�A�H�ȑ�w�̌����O���[�v�́A�����̍ޗ��u3C-SiC�v�i�������̒Y���P�C�f�j���A�����̏��x��i�����\���ɍ��߂邱�ƂŁA���_�l�����̍����M�`�������������Ƃ����������B

» 2022�N12��20�� 10��30�� ���J
[�n�{���j�CEE Times Japan]

Si���Ɍ����`�����”\�ŁA3C-SiC�^Si�E�ʂ̔M�`�����͍���

�@��������w�ƕăC���m�C��w�A�G�A�E�E�H�[�^�[�A���k��w����сA�ăW���[�W�A�H�ȑ�w�̌����O���[�v��2022�N12���A�����̍ޗ��u3C-SiC�v�i�������̒Y���P�C�f�j���A�����̏��x��i�����\���ɍ��߂邱�ƂŁA���_�l�����̍����M�`�������������Ƃ����������Ɣ��\�����B

�@SiC�́A������p���[�����̂̍ޗ��Ƃ��Ē��ڂ���A���p�����i��ł���B���̂قƂ�ǂ͌������Z�p���̌`�������u4H-SiC�v��u6H-SiC�v�ł������B�����ɔ�ׁu3C-SiC�v�͌����\�����P���ŁA�M�`�����������Ɗ��҂���Ă���B�Ƃ��낪�A�C�O�Ő������ꂽ3C-SiC�͔M�`������90W/m�EK�ŁA6H-SiC�̎����l�i320W/m�EK�j���Ⴂ�l���Ƃ����B

3C-SiC̔M`Ƒ̔̍ޗƂ̔r 3C-SiC�̔M�`�����Ƒ��̔����̍ޗ��Ƃ̔�r �o���F���k��w��

�@����́A�G�A�E�E�H�[�^�[���J������3C-SiC������p���A�M�`�����̕]���ƌ��q���x���̉�͂��s�����B��̓I�ɂ́A�܂��V���R���iSi�j���Ɍ���100��m��3C-SiC���`���B���̌�ASi��������3C-SiC������‚��쐻�����B

�@���̏�ŁATEM�i���ߌ^�d�q�������j��X�����b�L���O�J�[�u�iXRC�j�@��p���A���q�z��ƌ������̕]�����s�����B�i�m���x���̌������ׂ͊ώ@���ꂸ�A���q���K���I�ɔz�񂵂Ă��邱�Ƃ��m�F�����B�܂��AXRC�s�[�N�͋����A���������i���ł��邱�Ƃ����������B

�@�����āA���ԗ̈�T�[�����t���N�^�@��p���A3C-SiC������‚ƌ���1��m��3C-SiC�����ɂ‚��āA�M�`������]�������B���̌��ʁA������‚ł́A500W/m�EK�𒴂��铙�����̍����M�`����������ꂽ�B����a�ޗ��̒��ł̓_�C�������h�Ɏ���2�Ԗڂɍ����M�`�������Ƃ����B�܂��A����1��m��3C-SiC�����́A���������̃_�C�������h�ɔ�הM�`�������������Ƃ����������B����ɁA3C-SiC/Si�E�ʂ̔M�R���_�N�^���X�́A�َ�ޗ��E�ʒ��ōł������l���������Ƃ����B

3C-SiC‚̎ʐ^ ������3C-SiC������‚̎ʐ^�A������\TEM���AXRC�s�[�N�A3C-SiC�����̖ʓ��M�`�����m�N���b�N�Ŋg��n �o���F���k��w��

�@3C-SiC�̓_�C�������h�ɔ�ג�R�X�g�ł���A����a�̃E�G�n�[�쐻���”\�Ȃ��߁A���̔����̍ޗ��Ƒg�ݍ��킹��΁A�����M���̃f�o�C�X���������邱�Ƃ��ł���Ƃ����B�܂��A�V���R�����Ɍ����`�����”\�ł��邱�Ƃ�A3C-SiC�^Si�E�ʂ̔M�`�������������ƂȂǂ��傫�ȓ����ł���B

�@����̌������ʂ́A��������w��w�@�H�w�����Ȃ̗����g�y������d�쒼�P�����A�C���m�C��w��Zhe Cheng���m��David G.Cahill�����A�G�A�E�E�H�[�^�[�̐쑺�[��m�A���k��w�����ޗ��������̑��T���C�������Ɖi��N�������сA�W���[�W�A�H�ȑ�w��Samuel Graham������ɂ����̂ł���B

Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.

RSS�t�B�[�h

����SNS

EE Times �C�O�l�b�g���[�N

�C�O��g�T�C�g

All material on this site Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.
This site contains articles under license from AspenCore LLC.

OSZAR »