��z���_�́A�����_�H��w��m�x���N���X�^���e�N�m���W�[�Ƌ����ŁA�n���C�h�C�������iHVPE�j�@�ɂ��A6�C���`�E�G�n�[�i�T�t�@�C�A��j��Ɏ_���K���E���������`�����邱�Ƃɐ��������B
�@��z���_��2022�N3���A�����_�H��w��m�x���N���X�^���e�N�m���W�[�Ƌ����ŁA�n���C�h�C�������iHVPE�j�@�ɂ��A6�C���`�E�G�n�[�i�T�t�@�C�A��j��Ɏ_���K���E���i��-Ga2O3�j�������`�����邱�Ƃɐ��������Ɣ��\�����B������EV�i�d�C�����ԁj��e��C���o�[�^�[�Ȃǂ̏ȃG�l�ɂȂ���A���ψ��ō��o�́A�������i�ᑹ���j�̃p���[�f�o�C�X���A�����ɐ������邱�Ƃ��\�ɂȂ�B
�@��-Ga2O3�́A�Y���P�C�f�iSiC�j�⒂���K���E���iGaN�j�ɔ�ׁA���傫�ȃo���h�M���b�v�������Ƃ���A�p���[�f�o�C�X�p�Ƃ��Ē��ڂ��W�߂锼���̍ޗ��ł���B2021�N�ɂ̓m�x���N���X�^���e�N�m���W�[��HVPE�@��p���āA4�C���`��-Ga2O3�G�s�E�G�n�[�̊J���ɐ������A�����̔����s���Ă���B
�@�Ƃ��낪�AHVPE�@��p�����������u�̎��p�@�́A�Ή��ł���E�G�n�[�T�C�Y��2�C���`��4�C���`�Ƃ����������a�Ɍ����A�E�G�n�[��1�����������閇�t�����ł������B����A��-Ga2O3�p���[�f�o�C�X��{�i���y�����邽�߂ɂ́A6�C���`�ȏ�̑���a�E�G�n�[�ɑΉ��ł��A�����̃E�G�n�[���܂Ƃ߂ď�������o�b�`���̗ʎY���u���J������K�v������Ƃ����B
�@��z���_�͂���܂ŁANEDO�i�V�G�l���M�[�E�Y�ƋZ�p�����J���@�\�j�́u�헪�I�ȃG�l���M�[�Z�p�v�V�v���O�����^������p���[�f�o�C�X�����_���K���E���p�̑���a�ʎY�^�G�s�������u�̌����J���v�v���W�F�N�g�ŁA��-Ga2O3�������`�����邽�߂̑���a�ʎY�^�G�s�������u�i�ʎY���u�j�̊J���Ɏ��g��ł����B
�@�����ő�z���_�́A�u6�C���`�E�G�n�[�Ή��̖��t��HVPE���u�v���J�������B���̑��u�́A���������̍œK����Ǝ��̌����m�Y���\�����̗p���Ă���A�T�t�@�C�A���p����6�C���`�e�X�g�E�G�n�[��ցA��-Ga2O3�������`�����邱�Ƃɐ��E�ŏ��߂Đ��������Ƃ����B
�@�`��������-Ga2O3�����ɂ��ẮA�������z���}10���ȉ���B������ȂǁA�ʓ��ŋψ�Ȑ������\�ł��邱�Ƃ��m�F�����B����́A6�C���`��-Ga2O3�E�G�n�[��p���ăG�s�������s���A��-Ga2O3�����̓d�C�����▌���ɑ��݂��錇�ׂ�]�����āA���i���̃�-Ga2O3�G�s�������\�ɂ���Z�p���J�����Ă����B2024�N�x�ɂ͗ʎY���u�̐��i����ڎw���l�����B
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.