�������ȑ�w�́A���u�����P������iRubSC�j��ɁA���̗U�d�́ifmRub�j���G�s�^�L�V���������������Ƃ���A�쐻���������͑w�Ԃɂ����錋���i�q�̂��ꂪ�ɂ߂ď������u���z���G�s�^�L�V���������v���Ă��邱�Ƃ��������B
�@�������ȑ�w���H�w����[���w�Ȃ̒��R�א��y������ɂ�錤���O���[�v��2022�N2���A���u�����P������iRubSC�j��ɁA���̗U�d�́ifmRub�j���G�s�^�L�V���������������Ƃ���A�쐻���������́A�w�Ԃɂ����錋���i�q�̂��ꂪ�ɂ߂ď������u���z���G�s�^�L�V���������v���Ă��邱�Ƃ��������Ɣ��\�����B�������ʂ́A�L�@���z�d�r�Ȃǂ̗L�@�����̃f�o�C�X�ɉ��p�ł���Ƃ݂Ă���B
�@�L�@�����̃f�o�C�X�́A�y�ʂŏ_��ɗD��A�����R�X�g�������ȂǁA���܂��܂ȓ���������B�����A�d�C�I���������߂�ɂ́A�َ�ޗ��Ō`������E�ʂ̐��������ۑ�ƂȂ��Ă����B�����Ō����O���[�v�́A���F������������1�ŁA�d�׃L�����A�ړ��x���ɂ߂č���p�^�L�@�����̍ޗ���RubSC�ƁA���E�Ɠd�q�̗����ō����ړ��x������fmRub��g�ݍ��킹�邱�Ƃɂ����B����2�́A�킸���ɈقȂ錋���i�q��L���A�_��ɂ��D�ꂽ�L�@���q�ł��邩�炾�B
�@�����ł͂܂��ARubSC���fmRub�̔������`�����AX����܁iXRD�j�ɂ�茋������]�������B���̌��ʁAfmRub�w��RubSC�́i100�j�ʂɑ��āA�i001�j�����ɐ������Ă��邱�Ƃ����������BfmRub��c���̍�����3.437nm�ł���B�ʊO�����̕��ό����q�T�C�Y��28nm�ŁA��w�̖����i50nm�j�������������Ƃ���A�ʊO�����Ƀh���C�����E���邢�͕����̌��������܂�ł��邱�Ƃ����������B
�@��ܓ_�̋������͂������ʁAfmRub�̌����i�q��a����b���́A���ꂼ��RubSC�̌����i�q��b����c���ɑ��ĕ��s�ƂȂ��Ă���AfmRub��RubSC�́i100�j�ʏ�ŃG�s�^�L�V�����������Ă��邱�Ƃ��m�F�����B
�@�����āA�����p����X����܁iGIXD�j�ɂ��A�����̌����\����]�������B����ɂ��AfmRub��RubSC�̌����i�q�͂قڈ�v���A�����i�q�̂����0.005nm�����0.02�������ł���A�킸���Ȃ��Ƃ����������B
�@����ɁA���O���d�q�����@�iUPS�j��p���A�����\�ʂ̓d�q��Ԃ��]�������B���̌��ʁARubSC����fmRub�Ɍ������ēd�q�ړ��������A���ꂪ�������ƂȂ���RubSC����fmRub�ɏ���́u�o���h�Ȃ���v�������Ă��邱�Ƃ����������B
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.