���f�B�A

�����A�ȕւȈ���@�ŗL�@�����̃E�G�n�[�쐻�F���p���x���̈ړ��x������

������w��ɂ�鋤�������O���[�v�́A���p���x���̗L�@�g�����W�X�^�������ł���L�@�����̃E�G�n�[���A�ȕւȈ���@�ō쐻���邱�Ƃɐ��������B

» 2019�N11��08�� 13��30�� ���J
[�n�{���j�CEE Times Japan]

�m�Y������9cm�Ɋg��A��ʐς̈�����”\��

�@������w��ɂ�鋤�������O���[�v��2019�N11���A���p���x���̗L�@�g�����W�X�^�������ł���L�@�����̃E�G�n�[���A�ȕւȈ���@�ō쐻���邱�Ƃɐ��������Ɣ��\�����B

�@����̌������ʂ́A������w��w�@�V�̈�n���Ȋw�����ȁA���}�e���A���C�m�x�[�V���������Z���^�[�A�Y�����E�����[�I�y�����h�v���Z�p�I�[�v���C�m�x�[�V�������{���g���A�����E�ޗ������@�\���ۃi�m�A�[�L�e�N�g�j�N�X�������_�iWPI-MANA�j����сA�p�C�N���X�^����ɂ����̂ł���B

�@�L�@�����̂́A�]���̃V���R�������̂ɔ�׌y�ʂŏ_�������A�ቷ�v���Z�X�ł̈�����”\�ł���B����ŁA���p���x���̔����̓������������邱�Ƃ�����Ȃljۑ���������B����������������@��1�‚Ƃ��āA����”\�ȗL�@�����̍ޗ���p���ĒP���������쐻������@�����ڂ���Ă���Ƃ����B

�@�����O���[�v�͂���܂ŁA�L�@�����̃C���N��f�o����m�Y����p���A�X�L�����������ӏ��ɂ����P����������t����u�A���G�b�W�L���X�g�v�@���J���B���̕��@�ŁA��������10nm�̒P�����������쐻���邱�Ƃɐ������Ă����B�J�������E�G�n�[��p����ƁA�g�����W�X�^�̈ړ��x��15cm2/Vs�ȏ���������Ƃ��������Ă����B

�@����̌����ł́A�m�Y������9cm�Ə]����4�{�ȏ�ɍL�����B���ӑ��u���������Ȃǂ����ǂ��A���悻3���q�w�i����12nm�j�̋ψ�ȗL�@�����̒P������������ł��邱�Ƃ����؂����B��������ʐς�4�C���`���E�G�n�[�ɑ�������L�����Ƃ����B�L�@�����͉̂��w�I�ɂ����肵�Ă���A�t�H�g���\�O���t�B�[�ɂ��d�ɂ̃p�^�[�j���O���”\�ł���B

����4�C���`�p�E�G�n�[��Ɉ�����ꂽ�ɔ��L�@�����̒P�������B�E�͗L�@�����̕��q�̉��w�\���ƒP���������ɂ�����W���\���̖͎��} �o�T�F������w

�@�����O���[�v�́A4�C���`���L�@�����̃E�G�n�[���1600�‚̃g�����W�X�^���쐻���A����m�F���s�����B���̌��ʁA�S�Ẵg�����W�X�^�����ׂȂ�����B���ς̈ړ��x��10cm2/Vs�ɒB���邱�Ƃ����������B

����1600�‚̃g�����W�X�^���쐻���ꂽ�L�@�����̃E�G�n�[�̎ʐ^�A�����͑S�g�����W�X�^�̓`�B�Ȑ��A�E�͈ړ��x�̃}�b�s���O�} �o�T�F������w

�@�����O���[�v�͍���A��萫�\�������L�@�����̍ޗ��������u�̊J���Ɏ��g�݁A���[���c�[���[������ȂǁA����Ȃ��ʐψ���Z�p�̊m����ڎw���B�����������s�����p�C�N���X�^���́A�J�������Z�p�̑������Ɖ���i�߂Ă����B

Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.

RSS�t�B�[�h

����SNS

EE Times �C�O�l�b�g���[�N

�C�O��g�T�C�g

All material on this site Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.
This site contains articles under license from AspenCore LLC.

OSZAR »